真空炉的工艺温度常达 1200-2000℃，金属发热体（如钼、钨）在 1600℃以上会软化变形，陶瓷载具（如氧化铝）在急冷急热时会炸裂，而高纯石墨（固定碳≥99.9%）在 2800℃以下功能稳定，热膨胀系数是金属的 1/10。某航空材料厂的测试显现，石墨发热体在 1800℃真空环境下连续工作 100 小时，电阻变化率仅 2%，而钨丝发热体达 15%。
